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发明名称 Generator for use in a microelectromechanical system
摘要
申请公布号 EP1323668(B1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 EP20020020901 申请日期 2002.09.18
申请人 KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 KIM, KWANG HO;LEE, YOON PYO;JEON, JAE HAK;SONG, GUI EUN
分类号 B81B3/00;B81B7/02;F15C5/00;H01L41/113;H02K35/02;H02N2/00;H02N2/18 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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