| 发明名称 |
METHOD OF FORMING THICK RESIST PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1400850(A4) |
申请公布日期 |
2006.06.07 |
| 申请号 |
EP20020733301 |
申请日期 |
2002.06.05 |
| 申请人 |
AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. |
发明人 |
TAKAHASHI, SHUICHI |
| 分类号 |
G03F7/032;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022;G03F7/033 |
主分类号 |
G03F7/032 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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