发明名称 METHOD FOR FORMING METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060060963(A) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 KR20040099784 申请日期 2004.12.01
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, TAE KYUNG;CHO, JIK HO
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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