| 发明名称 | 感光性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及可以在碱性水溶液中显影，并且即使是厚膜，在分辨率、感光度、图形形状方面都很好的正型感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物，其特征为含有具有酚羟基的聚合物(a)，具有酚羟基，并且只含1个从羟甲基、烷氧基甲基中选择的基团的化合物(b)以及光敏产酸剂(c)。 | ||
| 申请公布号 | CN1782875A | 申请公布日期 | 2006.06.07 |
| 申请号 | CN200510128651.X | 申请日期 | 2005.11.23 |
| 申请人 | 东丽株式会社 | 发明人 | 谷口龙一郎;弓场智之;富川真佐夫 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/008(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 孙秀武;邹雪梅 |
| 主权项 | 1.一种感光性树脂组合物，其特征是含有具有酚羟基的聚合物(a)，具有酚羟基、并且只含有1个从羟甲基、烷氧基甲基中选择的基团的化合物(b)以及光敏产酸剂(c)。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||