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发明名称
A micro gyroscope and a method for tuning the Q-factor thereof
摘要
申请公布号
KR100585893(B1)
申请公布日期
2006.06.07
申请号
KR20040010470
申请日期
2004.02.17
申请人
发明人
分类号
G01C19/56
主分类号
G01C19/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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