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发明名称 CONNECTING DEVICE FOR FEEDING RF SOURCE IN DECOUPLED PLASMA SOURCE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060060831(A) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 KR20040099609 申请日期 2004.12.01
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, JAE SUN;JEONG, HWAN IL;SONG, KYOUNG RYOUL;YOO, UN JONG
分类号 H01L21/3065;H01L21/02 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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