发明名称 |
TFT及其制造方法,包括该TFT的平板显示器及其制造方法 |
摘要 |
一种包括可以简单布图的半导体膜的薄膜晶体管(TFT),制造这种TFT的方法,一种包括该TFT的平板显示器(FPD),和制造这种FPD的方法。这种TFT包括栅极、与栅极电绝缘的源、漏电极,以及半导体膜,该半导体膜与栅极电绝缘并包括分别与源和漏电极连接的源和漏区,以及连接源和漏区的沟道区。半导体膜具有使沟道区与邻近TFT分隔的凹槽。 |
申请公布号 |
CN1783515A |
申请公布日期 |
2006.06.07 |
申请号 |
CN200510092286.1 |
申请日期 |
2005.05.20 |
申请人 |
三星SDI株式会社 |
发明人 |
徐旼彻;杨南喆;具在本;姜泰旻;金慧东 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/84(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
韦欣华;王景朝 |
主权项 |
1.一种薄膜晶体管,包括:栅极;与栅极电绝缘的源、漏电极;和半导体有源层,该有源层与栅极电绝缘,并包括分别与源和漏电极连接的源、漏区,以及与源和漏区连接的沟道区,其中,半导体有源层由凹槽使其与邻近的半导体膜隔开。 |
地址 |
韩国京畿道水原市 |