发明名称 TFT及其制造方法,包括该TFT的平板显示器及其制造方法
摘要 一种包括可以简单布图的半导体膜的薄膜晶体管(TFT),制造这种TFT的方法,一种包括该TFT的平板显示器(FPD),和制造这种FPD的方法。这种TFT包括栅极、与栅极电绝缘的源、漏电极,以及半导体膜,该半导体膜与栅极电绝缘并包括分别与源和漏电极连接的源和漏区,以及连接源和漏区的沟道区。半导体膜具有使沟道区与邻近TFT分隔的凹槽。
申请公布号 CN1783515A 申请公布日期 2006.06.07
申请号 CN200510092286.1 申请日期 2005.05.20
申请人 三星SDI株式会社 发明人 徐旼彻;杨南喆;具在本;姜泰旻;金慧东
分类号 H01L29/786(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/84(2006.01) 主分类号 H01L29/786(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 韦欣华;王景朝
主权项 1.一种薄膜晶体管,包括:栅极;与栅极电绝缘的源、漏电极;和半导体有源层,该有源层与栅极电绝缘,并包括分别与源和漏电极连接的源、漏区,以及与源和漏区连接的沟道区,其中,半导体有源层由凹槽使其与邻近的半导体膜隔开。
地址 韩国京畿道水原市