微机调控激光干涉仪

摘要

微机调控激光干涉仪属光机电和计算机一体化的仪器，可用于云纹干涉法、电子散斑法和电子几何云纹法正常光照下亚动态测试，体积小成本低。设置激光器(1)，扩束镜(2)，准直镜(3)，分光镜/反光镜(4)，正交光栅(5)，反射镜组(6)、(7)，驱动线路板(8)，步进和变速系统(9)，摄像机(10)以及微机(11)、反射镜(13)等。除(11)和(13)外，组装在一个封闭的多层框架(12)内。(14)为测试对象。由(11)驱动(8)、(9)使扩束镜(2)移动，实现扩束光和准直光的变换；驱动(4)实现光栅分光和分光镜分光的变换；驱动(6)、(7)实现测试灵敏度的小步距大范围调节，初始或载波云纹的调节；有微机处理、判断功能，用于结构强度、热应力、残余应力、焊接质量、电子封装延寿研究，层间缺陷检测，工程、生物和复合材料力学性能测试研究。

主权项

1.微机调控激光干涉仪，包括激光器(1)，扩束镜(2)，准直镜(3)，分光镜/反光镜(4)，正交光栅(5)，反射镜组(6)、(7)，驱动线路板(8)，步进和变速系统(9)，摄像机(10)，微机(11)，反射镜(13)，以及一个封闭的多层框架(12)其特征在于由微机(11)发出指令，经驱动线路板(8)、步进和变速系统(9)可使扩束镜(2)前后移动，实现准直光或扩束光变换；使反射镜组(6)、(7)转动，实现正交虚光栅频率或测试灵敏度的小步距，即每步为栅频的0.01％～0.06％、和大范围，即在100线/毫米～3000线/毫米的范围以及初始云纹和载波云纹的调节；通过分光镜/反光镜(4)实现分光镜或正交光栅分光的变换，即测离面位移或两向面内位移的变换。