图案记录装置和图案记录方法

摘要

一种在感光材料上记录图案的图案记录装置包括：头部，装备具有调制反射光的微镜组的DMD，保持衬底的载物台以及彼此相对移动头部和载物台的机构。来自DMD的微镜的光分别被引导到衬底上的照射区域(61)。该照射区域(61)在衬底上方随衬底的移动而相对于头部移动。在头部内提供DMD以使照射区域(61)的排列方向相对于主扫描方向倾斜，和使得沿着在主扫描方向排列的两个相邻照射区域(61)之间的副扫描方向的中心一中心距离(L1)等于相对于副扫描方向衬底上的记录单元(620)的节距(P1)。这允许以每个记录单元(620)为中心多次曝光，因此实现高速图案记录，同时允许精确控制图案行距。

主权项

1.一种在感光材料上记录图案的图案记录装置，其特征在于包括：将光施加到以晶格排列的照射区域组的头部；扫描机构，用于在感光材料上方在相对于所述照射区域组的排列方向倾斜的扫描方向扫描所述照射区域组，并使多个照射区域在所述感光材料上的多个记录区域上方通过；以及控制器，通过与所述照射区域组的扫描同步地实行所述照射区域组的光照射的单独通/断控制来控制施加到所述感光材料上的每个所述记录区域的光量，其中所述照射区域组中的照射区域是在彼此垂直的两个方向以等节距排列的，以及沿着与在相邻照射区域之间的所述扫描方向垂直的方向的中心—中心距离等于在垂直于所述扫描方向的所述方向排列的相邻记录区域之间的中心—中心距离，所述相邻照射区域是沿着所述照射区域组的排列的两个方向中与所述扫描方向构成较小角度的方向排列的。