发明名称 METHOD FOR REMOVING PHOTORESIST OF WAFER EDGE
摘要
申请公布号 KR20060059495(A) 申请公布日期 2006.06.02
申请号 KR20040098600 申请日期 2004.11.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JEANG, SIL GUN
分类号 H01L21/304;H01L21/027 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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