首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 SUBSTRATE TABLE, METHOD OF MEASURING A POSITION OF A SUBSTRATE AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060059834(A) 申请公布日期 2006.06.02
申请号 KR20050114633 申请日期 2005.11.29
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 VAN BUEL HENRICUS WILHELMUS MARIA;BIJNEN FRANCISCUS GODEFRIDUS CASPER;BURGHOORN JACOBUS;TOLSMA HOITE PIETER THEODOOR;TEN BERGE PETER
分类号 H01L21/68;H01L21/027 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com