| 摘要 |
〔课题〕目的为在粒子监测装置中，防止或降低检测出之散乱光强度受气流通过区域中粒子之通过位置之影响而产生之变动，可提升粒子之大小之检测精确度。〔解决手段〕由雷射光源10射出以一次元状配列的10个雷射光束L1、L2、…、L10，藉由投射光学系20使彼等10个光束L1、L2、…、L10全体构成1个带状(带之宽度方向d)之光束L0，而且将雷射光源10射出之10个雷射光束L1、L2、…、L10之一部分彼此之间重叠，以使该光束L0之光强度，于半导体制程200之气流通过区域R之中，在该带之宽度方向d呈现大略均匀分布。 |
