非线性位移校正装置及方法

摘要

一种非线性位移校正装置，包含：雷射光源、第一至第三光纤耦合器及两个光侦测器，前述雷射光源经一光纤连接至前述第一光纤耦合器之入射端，前述两光侦测器系分别经由一光纤连接至前述第二光纤耦合器及第三光纤耦合器之反射端，前述第一光纤耦合器之射出端亦分别以一光纤连接至前述第二光纤耦合器及第三光纤耦合器之入射端，前述第二光纤耦合器及第三光纤耦合器之射出端则分别连接一光纤且此两光纤之端面以彼此光学相差90度并列平行邻近于待测物。本发明并进一步提供一种非线性位移校正方法，用于校正压电致动器之非线性误差。