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Ein kapazitiver Halbleitersensor für eine dynamische Größe weist ein Substrat (10) mit einer Trägerschicht und einer auf der Trägerschicht angebrachten Halbleiterschicht, einen in einer vorbestimmten Richtung verschieblichen Gewichtsabschnitt (21), an dem Gewichtsabschnitt (21) so angesetzte bewegliche Elektroden (24), dass sie mit dem Gewichtsabschnitt (21) gemeinsam verschieblich sind, feststehende Elektroden (31, 41), die so angeordnet sind, dass sie den beweglichen Elektroden (24) gegenüberliegen, und balkenförmige Balkenabschnitte (22), die zur Verschiebung des Gewichtsabschnitts (21) elastisch verformbar sind, auf. Wenn eine dynamische Größe aufgebracht wird, ändert sich der Abstand zwischen jeweiligen beweglichen Elektroden (24) und jeweiligen feststehenden Elektroden (31, 41) und wird die aufgebrachte dynamische Größe auf der Grundlage der durch die Änderung des Abstands hervorgerufenen Kapazitätsänderung zwischen den beiden Elektroden (24, 31, 41) erfasst. Die Dicke h2 des Balkenabschnitts (22) ist so festgelegt, dass sie größer als die Dicke h1 der beweglichen Elektrode (24) ist.
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