发明名称 CVD-SYNTHESE VON SILIZIUMNITRIDMATERIALIEN
摘要
申请公布号 DE60112354(T2) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 DE20016012354T 申请日期 2001.04.27
申请人 ASM JAPAN K.K 发明人 TODD, MICHAEL A.
分类号 C01B21/068;C23C16/34;C23C16/30;C23C16/42;H01L21/318 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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