| 发明名称 |
Mikroskop mit Korrektur und Verfahren zur Korrektur der durch Temperaturänderung hervorgerufenen XYZ-Drift |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10246274(B4) |
申请公布日期 |
2006.06.01 |
| 申请号 |
DE20021046274 |
申请日期 |
2002.10.02 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH |
发明人 |
GILBERT, MANFRED |
| 分类号 |
G02B21/24;G02B21/26;G02B21/36 |
主分类号 |
G02B21/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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