发明名称 Entwicklungssystem zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und zugehöriges Steuerungsverfahren
摘要
申请公布号 DE19842902(B4) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 DE1998142902 申请日期 1998.09.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 AN, WOUNG-KWAN;KIM, DONG-HO
分类号 G03F7/30;H01L21/027;H01L21/00 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
主权项
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