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发明名称 COATING DEVICE INCLUDING WAFER COUNTER
摘要
申请公布号 KR100587908(B1) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 KR20040114235 申请日期 2004.12.28
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, IK SOO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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