校正方法、电子元件的质量检查方法及特性测量系统

摘要

与参考测量系统不精确一致的实际测量结果被校正到与参考测量系统的测量结果相同的级别上。在参考测量系统和实际测量系统分别测量校正数据获得样本的电学特性以后，获得了实际测量系统的测量结果与参考测量系统的测量结果之间的关系等式。这样，通过将实际测量系统测量的目标电子元件的电学特性代入到关系式中进行计算，目标电子元件的电学特性就能够被校正为假定由参考测量系统所获得的电学特性。

主权项

1.一种测量误差校正方法，其中当目标电子元件的电学特性被具有与参考测量系统不一致的测量结果的实际测量系统测量以后，测量值被校正为假定由参考测量系统所获得的电学特性，测量误差校正方法包括步骤：预先准备一个校正数据获得样本，其产生与目标电子元件的任意电学特性相同的电学特性；分别由参考测量系统和实际测量系统测量校正数据获得样本的电学特性；获得参考测量系统的测量结果与实际测量系统的测量结果之间的关系等式；以及通过将实际测量系统测量的目标电子元件的电学特性代入到关系等式中用于计算从而将目标电子元件的电学特性校正为假定由参考测量系统获得的电学特性。