发明名称 METHOD OF FABRICATING AN ULTRA-NARROW CHANNEL SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1661173(A1) 申请公布日期 2006.05.31
申请号 EP20040778888 申请日期 2004.07.21
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 HARELAND, SCOTT;CHAU, ROBERT
分类号 H01L21/335;H01L29/76;H01L29/775;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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