发明名称 Plasma source coil and plasma chamber using the same
摘要
申请公布号 KR100584119(B1) 申请公布日期 2006.05.30
申请号 KR20040021578 申请日期 2004.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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