发明名称 Capacitor having a high dielectric layer of BTS or BTZ in a semiconductor device, and fabrication method thereof
摘要
申请公布号 KR100585114(B1) 申请公布日期 2006.05.30
申请号 KR20030087976 申请日期 2003.12.05
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/8242;H01L29/94;H01L31/119 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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