发明名称 ABRASIVE-FREE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING COMPOSITIONS AND METHODS RELATING TEHRETO
摘要
申请公布号 KR20060058009(A) 申请公布日期 2006.05.29
申请号 KR20050102799 申请日期 2005.10.31
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. 发明人 GHOSH TIRTHANKAR;SOLOMON ROBERT D.;WANG HONGYU
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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