PROCESS FOR PROTECTING A METALLIC MIRROR AGAINST DEGRADATION, AND METALLIC MIRROR
摘要
<p>Bei einem Verfahren zum Schutz eines Metallspiegels für Ultraviolettstrahlung mit Wellenlängen zwischen ca. 120 nm und ca. 260 nm gegen Degradation von Reflexionseigenschaften durch Umwelteinflüsse wird ein Metallspiegel, der bei einer bevorzugten Ausführungsform eine Metallschicht aus Aluminium hat, mit einer Schutzschicht beschichtet, die bei einer bevorzugten Variante aus Chiolith (Na5AI3F14) besteht. Ein derartig dielektrisch geschützter Metallspiegel weist im Vergleich zu herkömmlichen dielektrisch geschützten Metallspiegeln eine geringere Degradation des Reflexionsvermögens bei Lagerung in Umgebungsatmosphäre auf. Auch die Beständigkeit gegen Degradation durch UV-Strahlung ist gegenüber herkömmlichen dielektrisch geschützten Metallspiegeln verbessert.</p>
申请公布号
WO2006053705(A1)
申请公布日期
2006.05.26
申请号
WO2005EP12197
申请日期
2005.11.15
申请人
CARL ZEISS SMT AG;ZACZEK, CHRISTOPH;PAZIDIS, ALEXANDRA;ULLMANN, JENS;MUELLENDER, ANGELIKA;HAIDL, MARKUS;FELDERMANN, HORST