发明名称 A method for forming a hard mask for gate electrode patterning and corresponding device
摘要
申请公布号 SG121928(A1) 申请公布日期 2006.05.26
申请号 SG20050001362 申请日期 2005.03.04
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 CHIEN-HAO CHEN;CHIA-JEN CHEN;TZE-LIANG LEE;CHAO-CHENG CHEN;SHIH-CHANG CHEN
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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