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发明名称 COLLIMATED DUOPLASMATRON-POWERED DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 US3494852(A) 申请公布日期 1970.02.10
申请号 USD3494852 申请日期 1966.03.14
申请人 WHITTAKER CORP. 发明人 MICHAEL DOCTOROFF
分类号 C23C14/32;H01J27/10;H01J37/317;H01L21/00;(IPC1-7):B01K1/00;C23C15/00 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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