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发明名称 REDUCTION OF MOBILE ION AND METAL CONTAMINATION IN HDP-CVD CHAMBERS USING CHAMBER SEASONING FILM DEPOSITIONS
摘要
申请公布号 KR100562208(B1) 申请公布日期 2006.05.25
申请号 KR19980021631 申请日期 1998.06.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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