发明名称 A METHOD OF MANUFACTURING THE SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 KR100582146(B1) 申请公布日期 2006.05.23
申请号 KR20010054628 申请日期 2001.09.06
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/304;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8228;H01L21/84;H01L27/082;H01L27/12 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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