发明名称 GAS FOR PLASMA REACTION AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 KR100582520(B1) 申请公布日期 2006.05.23
申请号 KR20017013339 申请日期 2001.10.19
申请人 发明人
分类号 C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
地址