发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060053497(A) 申请公布日期 2006.05.22
申请号 KR20040093548 申请日期 2004.11.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, WON SUK;PARK, HONG SICK;CHOUNG, JONG HYUN
分类号 H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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