| 发明名称 |
ENHANCED PROCESS AND PROFILE SIMULATOR ALGORITHMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060050931(A) |
申请公布日期 |
2006.05.19 |
| 申请号 |
KR20050081279 |
申请日期 |
2005.09.01 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
COOPERBERG DAVID;VAHEDI VAHID |
| 分类号 |
G05B13/04;G05B13/02;H01L21/00 |
主分类号 |
G05B13/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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