发明名称 POLISHING MEHTOD
摘要
申请公布号 KR20060052473(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050105440 申请日期 2005.11.04
申请人 FUJIMI INCORPORATED 发明人 OH, JUN HUI;KAWAMURA ATSUNORI;MATSUDA TSUYOSHI;HIRANO TATSUHIKO;HORI KATSUNOBU;SAKAI KENJI
分类号 H01L21/304;B24B37/00;B24B37/005 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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