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发明名称 PARTS FOR SUBSTRATE PROCESSING APPARTUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060052455(A) 申请公布日期 2006.05.19
申请号 KR20050105199 申请日期 2005.11.04
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 MORIYA TSUYOSHI;MITSUHASHI KOUJI;UEDONO AKIRA
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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