发明名称 Lithographic apparatus and device manufacturing method
摘要
申请公布号 EP1424597(A3) 申请公布日期 2006.05.17
申请号 EP20030257425 申请日期 2003.11.25
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 PRIL, WOUTER ONNO;VAN DER PASCH, EGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS;DILLON, ROBERT;HENSHAW, PHILIP DENNIS
分类号 G03F7/20;G01B9/02;G01B11/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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