发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060045206(A) 申请公布日期 2006.05.17
申请号 KR20040092267 申请日期 2004.11.12
申请人 SAMSUNG TECHWIN CO., LTD. 发明人 CHO, SE HOON;KIM, SE KWANG
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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