| 发明名称 | 驱动装置及曝光装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可利用比较小型的机构降低驱动部的发热量，且降低驱动时的反作用力的驱动装置。沿Z轴导向装置55A移动自如地安装滑块53A及58A，并在滑块53A上固定遮蔽装置21及可动元件54A，且利用滑块58A支持固定元件60A，并在含有半径比不同的滑轮48A及49A的平衡轮机构51A上，分别通过钢带62A及63A连结滑块53A及固定元件60A。利用可动元件54A及固定元件60A所构成的线性电动机61A，将遮蔽装置21沿垂直线进行驱动。 | ||
| 申请公布号 | CN1773380A | 申请公布日期 | 2006.05.17 |
| 申请号 | CN200510109154.5 | 申请日期 | 2005.10.18 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 蛯原明光 |
| 分类号 | G03F7/23(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/23(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 1.一种驱动装置，为一种使第1物体实质上沿垂直线进行驱动的驱动装置，其特征在于，包括：具有前述第1物体的M倍的质量的第2物体，其中M为大于1的实数、使前述第1物体和前述第2物体实质上以M∶1的速度比沿前述垂直线相对地向相反方向进行驱动的相对驱动装置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||