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发明名称 SOI substrate manufacturing method and SOI substrate processing apparatus
摘要
申请公布号 EP1480265(A3) 申请公布日期 2006.05.17
申请号 EP20040011983 申请日期 2004.05.19
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ITO, MASATAKA;YAMAGATA, KENJI;KAKIZAKI, YASUO;TAKANASHI, KAZUHITO;MIYABAYASHI, HIROSHI;MORIWAKI, RYUJI;TSUBOI, TAKASHI
分类号 H01L21/762;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/3213;H01L21/66 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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