自动将光罩除尘之曝光制程以及具有光罩除尘装置之运送架

摘要

本发明揭示一种自动将光罩除尘之曝光制程，包含：将基板送入曝光室中；利用该曝光室之光罩对该基板进行曝光；以一运送架沿着该光罩下方将完成曝光之该基板送出该曝光室，其中沿着该运送架之一边缘设有一除尘装置，该边缘远离于运送基板之方向，其中该除尘装置包括一具有除尘毛刷之可转动式抗静电棒。以及，移动该运送架进出该曝光室至少一次，以利用该除尘毛刷除去光罩上之异物。