| 摘要 |
本发明系提供具有高成膜速度MOCVD法用原料液及使用该原料液之含Hf–Si复合氧化物膜之制造方法。并提供使用与基质之密接性良好的MOCVD法用原料液之含Hf–Si复合氧化物膜之制造方法。本发明之MOCVD法用原料液之特征在于(R^1R^2N)nSiH(4–n)所示之有机Si化合物以设定之比率混合者。有机Si化合物与有机Hf化合物之混合比率系以重量比(有机Hf化合物／有机Si化合物)为0.001～0.5重量％之范围内。进而，本发明之MOCVD法用原料液之特征在于，将在以上述范围内之重量比混合之有机Hf化合物溶解于有机Si化合物中，将此溶解液在20～100℃加热予以调制者。 |
