基板之回收方法及基板处理装置

摘要

本发明系提供一种基板之回收方法及基板处理装置，系在基板处理装置发生问题时，以不对之后的基板处理造成不良影响的方式，快速回收残留于基板处理装置内的基板，早期再开始基板处理。在涂抹显影处理装置内发生问题时，使用装置内的搬运单元，将涂抹显影处理装置内的全部基板回收到搬入出部。此时，各搬运单元从问题发生时的各位置将基板朝向搬入出部的方向搬运并予以回收。又，针对发生问题时，在处理单元内处理中的基板，系结束该处理之后，再予以回收。