陶瓷坯片用载体膜、使用其之陶瓷坯片加工方法、电子零件之制造方法

摘要

对由载体膜支持的陶瓷坯片照射雷射以形成贯通孔时，要求孔不贯通载体膜，同时形成形状为大致圆柱形。陶瓷坯片用载体膜10具有：由树脂薄膜构成的载体膜本体12、以及在载体膜本体的一主面形成的金属薄膜层11，在该载体膜本体12的另一主面形成陶瓷坯片20。