| 摘要 |
本发明提供一种小型且高性能、生产性及可靠性佳之驻极体电容麦克风。本发明之驻极体电容麦克风包含：半导体基板101，其具有去除成留存周边部之薄膜区域113；振动膜112，其以覆盖薄膜区域113之方式形成于半导体基板101上；空气隙109，其以与薄膜区域113重叠之方式设置于振动膜112上；及上部电极118，其设置于空气隙109上。于上部电极118形成有音孔111。于薄膜区域113内之振动膜112上设置有下部电极104。下部电极104、振动膜112以及空气隙109各个之图案具有由直线以及曲线构成之轮廓。 |
