矽氧烷树脂及由此制得之多孔材料

摘要

本发明系关于具有通式〔(PE)(CH2)3SiO3／2〕u(RSiO3／2)v(O3／2Si(CH2)nSiO3／2)w(SiO4／2)x之聚矽氧树脂，其中PE为含有至少8个碳原子及至少4个氧原子之聚醚基；R系选自H、乙烯基、苯基或具有1至6个碳原子之烷基；n值为0至3；u值为0至0.3；v值为0至0.5，w值为0.15至0.5；x值为0至0.4且u＋v＋2w＋x 1。该等树脂系用于形成半导体装置上之多孔陶瓷或多孔膜。094123762-p01.bmp