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发明名称 ETCHING COMPOSITION AND METHOD FOR ETCHING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060044388(A) 申请公布日期 2006.05.16
申请号 KR20050022621 申请日期 2005.03.18
申请人 TOSOH CORPORATION;DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 HARA YASUSHI;TAKAHASHI FUMIHARU;HAYASHI HIROAKI
分类号 C09K13/08;G03F7/004;H01L21/00;H01L21/311;H01L21/44 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
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