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发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING AN INSPECTION OBJECT
摘要
申请公布号
KR20060044613(A)
申请公布日期
2006.05.16
申请号
KR20050023985
申请日期
2005.03.23
申请人
OLYMPUS CORPORATION
发明人
YAZAWA MASAHIKO
分类号
G01N21/956;H01L21/66;B65B21/02;B65G49/07;G01N21/00;G01N21/95;G01N35/00;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
G01N21/956
代理机构
代理人
主权项
地址
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