发明名称 Method for gettering of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100580776(B1) 申请公布日期 2006.05.15
申请号 KR19990048614 申请日期 1999.11.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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