| 发明名称 |
INSULATING FILM FORMING METHOD, INSULATING FILM FORMING APPARATUS, AND PLASMA FILM FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060043764(A) |
申请公布日期 |
2006.05.15 |
| 申请号 |
KR20050022255 |
申请日期 |
2005.03.17 |
| 申请人 |
ADVANCED LCD TECHNOLOGIES DEVELOPMENT CENTER CO.,LTD. |
发明人 |
SASAKI ATSUSHI;AZUMA KAZUFUMI;IDE TETSUYA;NAKATA YUKIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/455;C23C16/511;C23F1/00;G02F1/136;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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