| 发明名称 | 收集装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种收集装置，用于提高收集产物的效率或使收集单元再生的效率，即提高除去积聚在收集单元上的产物的效率。该收集装置包括：一个设置在排出通道中的收集室，所述排出通道用于通过真空泵抽空一个气密密封室，所述收集室容纳有一用于在其上积聚包含在排出气体内的产物并除去该产物的收集单元；一个紧邻所述收集室设置的再生室，其用于引入再生液体使所述收集单元再生；以及一个用于使所述收集单元在所述收集室和所述再生室之间移动的转换机构，所述收集单元具有经过憎水处理的表面。 | ||
| 申请公布号 | CN1769684A | 申请公布日期 | 2006.05.10 |
| 申请号 | CN200510053050.7 | 申请日期 | 2000.11.10 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 野村典彦;野路伸治 |
| 分类号 | F04B37/16(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | F04B37/16(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蔡胜利 |
| 主权项 | 1.一种收集装置，包括：一个设置在排出通道中的收集室，所述排出通道用于通过真空泵抽空一个气密密封室，所述收集室容纳有一用于在其上积聚包含在排出气体内的产物并除去该产物的收集单元；一个紧邻所述收集室设置的再生室，其用于引入再生液体使所述收集单元再生；以及一个用于使所述收集单元在所述收集室和所述再生室之间移动的转换机构，所述收集单元具有经过憎水处理的表面。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||