发明名称 INDUCTIVE PLASMA CHAMBER HAVING MULTI DISCHARGE TUBE BRIDGE
摘要
申请公布号 KR100575370(B1) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 KR20030028846 申请日期 2003.05.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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