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发明名称
摘要
申请公布号 JP3773755(B2) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 JP20000166214 申请日期 2000.06.02
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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